外觀質量:焊接后表面焊縫平整,無尖棱尖角
運動功能:運動范圍覆蓋全部行程,運動過程高精度控制
潔凈度:吹掃5分鐘內能夠使得0.3微米尺度的微粒計數少于10個/10秒
狀態:張緊后平直無松動
真空漏率:≤1x10-13Pa·m3/s